压电微机电声学换能器和电子设备.pdfVIP

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2023-02-13 发布于四川
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压电微机电声学换能器和电子设备.pdf

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本公开的实施例涉及压电微机电声学换能器和电子设备。一种压电微机电声学换能器，该压电微机电声学换能器具有：半导体衬底，该半导体衬底具有框架部分和由框架部分内部限定的通腔；主动膜，该主动膜悬置在通腔上方，并且通过锚固结构在其外围部分锚固到衬底的框架部分，由主动膜的前表面承载的多个压电传感元件用以检测主动膜的机械应力；被动膜，该被动膜悬置在通腔上方，在主动膜的下方，介于通腔和主动膜的后表面之间；以及柱元件，该柱元件固定地耦合主动膜和被动膜，并且被居中地插入在两者之间。通气孔穿过整个主动膜、被动膜和柱元

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212519426 U (45)授权公告日 2021.02.09 (21)申请号 202020909596.8 (22)申请日 2020.05.26 (30)优先权数据