单晶硅棒端面电阻率检测定位夹具.pdfVIP

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2023-02-13 发布于四川
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单晶硅棒端面电阻率检测定位夹具.pdf

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单晶硅棒端面电阻率检测定位夹具，包括架体，在架体中心转动安装主动锥齿轮，在架体上转动安装四个周向均匀布置的径向丝杆，四个径向丝杆内端固定安装与主动锥齿轮啮合的从动锥齿轮，在架体底面位于四个径向丝杆下方分别设有径向滑道，四个径向滑道内分别安装径向滑动的夹板，所述夹板与对应的径向丝杆通过螺纹连接，四个夹板距中心距离相等，在四个夹板内壁分别设有向中心延伸的支撑板，在四个支撑板上分别安装竖直向下的电阻率探针，四个探针距对应夹板内壁相等，所述电阻率探针底端位于架体底面与夹板底面之间。其可使选取检测点定位精

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212514779 U (45)授权公告日 2021.02.09 (21)申请号 202020702558.5 (22)申请日 2020.04.30 (73)专利权人辽宁中电科半导体材料有限公司