气体分配盘拆卸装置和刻蚀设备.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.03万字
约 9页
2023-02-13 发布于四川
举报
版权申诉

气体分配盘拆卸装置和刻蚀设备.pdf

1、本文档共9页，其中可免费阅读5页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型提供了一种气体分配盘拆卸装置和刻蚀设备，所述气体分配盘拆卸装置用于将第一气体分配盘从第二气体分配盘上拆卸下来，所述气体分配盘拆卸装置包括：可拆卸地设置于所述第二气体分配盘上且环绕于所述第一气体分配盘的外围的支撑板；可拆卸地环绕设置于所述第一气体分配盘的外周上的内环卡套，以在所述内环卡套向上移动时带动所述第一气体分配盘向上移动；以及，用于带动所述内环卡套向上移动的施力把手，所述施力把手可拆卸地设置于所述支撑板上，所述支撑板在所述施力把手带动所述内环卡套向上移动时支撑所述施力把手。本实用新

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212471321 U (45)授权公告日 2021.02.05 (21)申请号 202020969949.3 (22)申请日 2020.06.01 (73)专利权人广州粤芯半导体技术有限公司