一种减少硅片接触印记的湿法花篮.pdfVIP

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2023-02-13 发布于四川
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一种减少硅片接触印记的湿法花篮.pdf

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本发明提供一种减少硅片接触印记的湿法花篮，包括支架面板和花篮杆，其特征在于，所述支架面板内设置有气路通道，所述花篮杆为中空柱状，成组对称的固定于两块所述支架面板中间，与所述气路通道连通，所述花篮杆外壁上设置有凸出的花篮齿，所述花篮杆上在对应花篮齿的位置处开有通孔。本发明通过气路通道与花篮杆连通的设计，于花篮齿处的通孔进行液体或气体的输出，有效的清洁硅片上花篮齿位置处的印记，解决硅片上花篮齿处残留水渍的问题，进而改善硅片上花篮齿位置和其他位置绒面的均匀性，同时减少花篮齿位置带液造成的各种不良及返工

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212485286 U (45)授权公告日 2021.02.05 (21)申请号 202021843105.0 (22)申请日 2020.08.28 (73)专利权人江苏润阳悦达光伏科技有限公司