一种半导体硅片双面抛光用载具.pdfVIP

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2023-02-13 发布于四川
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一种半导体硅片双面抛光用载具.pdf

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本实用新型提供一种半导体硅片双面抛光用载具，包括圆形本体，在所述本体外缘设有外齿轮，在所述本体内侧至少设有若干用于放置硅片的放置槽和若干组用于流通抛光液的通孔组件，所述放置槽和所述通孔组件均贯穿所述本体厚度设置；所述通孔组件置于相邻所述放置槽之间。本实用新型提出的双面抛光用载具，结构设计合理，不仅可保证抛光时双面都有抛光液均匀分散流通，而且还可分散载具中的应力集中，降低其变形风险，提高其受力均匀性，延长使用寿命。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212497208 U (45)授权公告日 2021.02.09 (21)申请号 202020968135.8 B08B 3/12 (2006.01)