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一种应用于钕铁硼真空扩渗炉的抽真空系统，其包括包括分子泵、罗茨泵、旋片泵、连通分子泵和真空扩渗炉的第一挡板阀、连通分子泵和罗茨泵的主管道、设置在主管道上的第三挡板阀和第二真空规、连通真空扩渗炉和罗茨泵的过渡管道、设置在过渡管道上的第二挡板阀、连通罗茨泵和旋片泵的第四挡板阀以及用于测量真空扩渗炉内真空度的第一真空规和第三真空规，整个启动过程通过分级启动的方式提高提升真空扩渗炉内真空度的速率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212476862 U
(45)授权公告日 2021.02.05
(21)申请号 202021648995.X
(22)申请日 2020.08.10
(73)专利权人 北京北方华创磁电科技有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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