一种控制光学高精度圆形分划件中心位置的夹具.pdfVIP

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2023-02-13 发布于四川
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一种控制光学高精度圆形分划件中心位置的夹具.pdf

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本实用新型属于精密光学刻蚀技术领域，尤其涉及一种控制光学高精度圆形分划件中心位置的夹具，包括夹具本体，所述夹具本体的顶部的中间部位设有凸块，且夹具本体顶部沿凸块周围均布有通气孔，所述夹具本体下端设有定位孔，所述定位孔与光学圆形分划件和母片相匹配，所述夹具本体的上方卡接有定位荷重块，所述定位荷重块的底部设有与夹具本体上的凸块相匹配的卡槽，所述夹具本体所用材料为聚四氟乙烯。本实用新型结构简单，操作方便，能够快速、精确地将光学圆形分划件的中心位置与母片图案的中心位置重合，且较少对光学圆形分划件及母片的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212471214 U (45)授权公告日 2021.02.05 (21)申请号 202021078607.9 (22)申请日 2020.06.11 (73)专利权人河南平原光电有限公司