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本发明提供大尺寸偏光应力检测装置,包括光源、起偏器和视觉成像单元,还包括X轴运动支架组件和Y轴运动支架组件,X轴运动支架组件设置在Y轴运动支架组件的上方,并可以在Y轴运动支架组件上进行竖直运动;光源和起偏器通过承载台固定的安装在Y轴运动支架组件下方,所述起偏器位于光源上方,检测样品则放置于起偏器上进行应力检测;所述视觉成像单元活动的设置在X轴运动支架组件上,并可以在X轴运动支架组件上进行水平运动,所述Y轴运动支架组件上还固定的架设有1/4波片,1/4波片位于起偏器和视觉成像单元之间。本申请装置可
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212482758 U
(45)授权公告日 2021.02.05
(21)申请号 202021214057.9
(22)申请日 2020.06.28
(73)专利权人 苏州精创光学仪器有限公司
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