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2023-02-13 发布于四川
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一种晶圆清洗装置，其包括：底座；晶圆旋转组件，其设置于所述底座的上部，用于支撑晶圆并驱动晶圆绕晶圆的轴线旋转；清洗刷，其为圆筒状结构，所述清洗刷设置于晶圆的两侧并绕其轴线滚动；支撑板，其设置于所述清洗刷的两端；清洗刷移动组件，其设置于所述清洗刷的两端，其包括丝杠和导轨，所述丝杠与所述支撑板连接，所述导轨平行于所述丝杠并与所述支撑板连接；驱动组件，其包括传动机构和驱动件，所述驱动件通过所述传动机构驱动清洗刷两端的所述丝杠同步旋转，以带动清洗刷两端的支撑板沿所述导轨移动。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212494124 U (45)授权公告日 2021.02.09 (21)申请号 202020860080.9 (22)申请日 2020.05.21 (73)专利权人华海清科股份有限公司