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本实用新型的目的在于公开一种自动粘棒晶托除尘工装，它包括金属框架和储气罐，所述储气罐设置在所述金属框架内，所述金属框架的顶部设置有若干吹气杆，所述储气罐通过气杆与所述吹气杆互相连接，所述储气罐与所述气杆之间通过电磁阀互相连接；与现有技术相比，在粘棒过程中实现除尘，为线切工序节约开机时间，有效地解决了由于残胶未清理，粉尘杂物等影响硅片质量和员工安全的问题，减少线切工序人员操作难度和劳动强度，降低生产工器具损耗，实现本实用新型的目的。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212494322 U
(45)授权公告日 2021.02.09
(21)申请号 202020982664.3 (51)Int.Cl.
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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