一种多台单晶炉抽气管道.pdfVIP

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2023-02-13 发布于四川
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一种多台单晶炉抽气管道.pdf

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本实用新型公开了一种多台单晶炉抽气管道，包括n台并联连接的单晶炉(1)和n‑1台并联连接的真空泵(2)，n台所述单晶炉(1)构成单晶炉(1)模块，n‑1台所述真空泵(2)构成真空泵(2)模块，所述单晶炉(1)模块和所述真空泵(2)模块通过管道串联连接，每台单晶炉(1)和每台真空泵(2)所在的支路上均设置有调节阀(3)，n为大于等于3的自然数。应用本实用新型实施例所提供的技术方案，n台单晶炉(1)配备n‑1台真空泵(2)进行抽真空和保压操作，节约了一台真空泵(2)和其他生产资源，降低了每台单晶炉(

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212476956 U (45)授权公告日 2021.02.05 (21)申请号 202021076098.6 (22)申请日 2020.06.11 (73)专利权人晶科能源有限公司地