一种具有单腔清洗装置的减薄设备.pdfVIP

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2023-02-14 发布于四川
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一种具有单腔清洗装置的减薄设备.pdf

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本公开涉及一种具有单腔清洗装置的减薄设备，包括：设备前端模块，用于实现基板的进出，设备前端模块设置在减薄设备的前端；磨削模块，用于对基板进行磨削，磨削包括粗磨削和/或精磨削，磨削模块设置在减薄设备的末端；抛光模块，用于在完成磨削之后利用能够根据基板的厚度分布分区调节加载压力的承载头对基板进行化学机械抛光，抛光模块设置在设备前端模块与磨削模块之间；抛光模块包括清洗干燥一体的单腔清洗装置，单腔清洗装置包括承载部、流体供给部、挡板部和流体收集腔。本公开可实现对基板的超精密的平整化加工，并提高平整化后的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212497178 U (45)授权公告日 2021.02.09 (21)申请号 202021058152.4 (22)申请日 2020.06.10 (73)专利权人华海清科股份有限公司