一种用于半导体晶片光学检测和激光打印的多功能小转盘.pdfVIP

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2023-02-15 发布于四川
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一种用于半导体晶片光学检测和激光打印的多功能小转盘.pdf

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本实用新型公开了一种用于半导体晶片光学检测和激光打印的多功能小转盘，通过设置真空机，对于旋转盘上半导体晶片的夹持吸附力有着极大的提高，能够使得旋转盘上的半导体晶片具有非常高的稳定性，在半导体晶片进行光学检测、激光打印等操作时，能非常稳定的被吸附在半导体夹持槽内，有利于光学检测、激光打印的进行，避免半导体晶片在工作时晃动、掉落，从而提高良品率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212553444 U (45)授权公告日 2021.02.19 (21)申请号 202020698271.X (22)申请日 2020.04.30 (73)专利权人江苏同臻智能科技有限公司