一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置和方法.pdfVIP

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2023-02-15 发布于四川
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一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置和方法.pdf

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本发明涉及光纤及光电子器件技术领域，公开了一种等离子体化学气相沉积法制备光纤预制棒的装置和方法，通过在石英管组件的中心设置中心靶棒，使该装置可以用来进行常规的等离子体化学气相沉积(常规PCVD工艺)，也可以同时相对于中心的石英棒进行等离子体外沉积，特别适合生产带低折射率包层的预制棒。同时，相比常规的PCVD工艺，在制备低折射率包层的预制棒时不需要用掺氟石英管，降低了沉积失败的风险。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113024102 A (43)申请公布日 2021.06.25 (21)申请号 202110273909.4 (22)申请日 2021.03.15 (71)申请人武汉友美科自动化有限公司