一种半导体薄膜气体传感器.pdfVIP

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2023-02-17 发布于四川
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一种半导体薄膜气体传感器.pdf

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本发明涉及一种半导体薄膜气体传感器。该半导体薄膜气体传感器包括衬底、以及设置于所述衬底第一表面的半导体薄膜；所述半导体薄膜表面设置有电极；所述半导体薄膜的上方设置有用于照射所述半导体薄膜的光源；或，所述半导体薄膜底部设置有用于照射所述半导体薄膜的光源；或，所述衬底的第二表面设置有用于照射所述半导体薄膜的光源，所述衬底第一表面和所述衬底第二表面相对设置。本发明通过设置光源照射半导体薄膜，可以提高灵敏度，从而避免了高温加热，功耗更低、更为稳定，其可以检测氧气和甲烷，而现有SnO2纳米颗粒传感器对空气

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212658657 U (45)授权公告日 2021.03.05 (21)申请号 202020972878.2 (22)申请日 2020.06.01 (66)本国优先权数据 2020100