一种真空气室结构及湿胚吸附装置.pdfVIP

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2023-02-17 发布于四川
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一种真空气室结构及湿胚吸附装置.pdf

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本实用新型公开了一种真空气室结构，包括：真空气室主体，真空气室主体的内部形成有真空腔；真空气室主体的的一个侧壁上设有抽气口，其相对的另一个侧壁上设有泄压口；控制阀组件，控制阀组件包括封堵件、驱动机构；驱动机构用于驱动封堵件直线运动从而在抽真空状态和泄压状态之间转换；当封堵件处于抽真空状态时，封堵件封堵住泄压口，使得抽气口与真空腔连通；当封堵件处于泄压状态时，封堵件封堵住抽气口，使得大气通过泄压口与真空腔连通。本实用新型采用一个控制阀组件就可实现在抽真空状态和泄压状态之间转换，具有结构简单和操作方

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212656051 U (45)授权公告日 2021.03.05 (21)申请号 202021309311.3 (22)申请日 2020.07.06 (73)专利权人徐允聪地址 51