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本实用新型涉及晶圆制备技术领域，尤其涉及一种清洗机构以及具有该清洗机构的研磨机，本实用新型的清洗机构包括吹气组件和清洗台，其中清洗台上设置有连接第一转动驱动机构的安装板，安装板的周侧设置有挡板，挡板上设置有喷水枪，并且喷水枪朝向安装板的中心，已研磨的晶圆通过机械手移送至清洗台时先经过吹气组件吹除附着在晶圆下表面的磨屑，保证晶圆能够平整地放置在安装板上并随安装板转动，喷水枪朝向晶圆的中心喷水，并且晶圆随安装台自转，使得清洗水在晶圆的表面因离心力作用甩出而带走附着在晶圆表面的磨屑，同时采用挡板避免水
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212625510 U
(45)授权公告日 2021.02.26
(21)申请号 202021897113.3
(22)申请日 2020.09.02
(73)专利权人 珠海市中芯集成电路有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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