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2023-02-17 发布于四川
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对心装置.pdf

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本申请涉及一种对心装置，对心装置包括：主体；对心机构及载台，对心机构安装于主体上，载台安装于对心机构上，载台被构造能够承载并带动工件同步运动或释放工件至主体上；安装于主体上的视觉机构，视觉机构受控拍摄工件及载台，对心机构受控根据视觉机构拍摄的信息调整载台与工件的相对位置，以使工件与载台的圆心重合，且使工件的定位部周向转动至目标位置。对心装置不但能够定位非透明状的晶圆的定位缺口，还能够定位透明状的晶圆的定位缺口，相对于现有技术不能适用定位透明状晶圆的定位缺口的情况，扩大了对心装置的应用范围。

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218482213 U (45)授权公告日 2023.02.14 (21)申请号 202222162493.1 (22)申请日 2022.08.17 (73)专利权人无锡光导精密科技有限公司地址