晶圆清洁系统.pdfVIP

下载本文档

0
0
约7.6千字
约 8页
2023-02-18 发布于四川
举报
版权申诉

晶圆清洁系统.pdf

1、本文档共8页，其中可免费阅读4页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本申请公开了一种晶圆清洁系统，包括承载台与清洁模组，清洁模组包括：固定柱，可移动至承载台上方；清洁刷体，至少部分位于固定柱的柱面；以及马达，位于所述固定柱的一端，通过轴承与固定柱连接，以驱动固定柱旋转，从而带动清洁刷体旋转，减少了马达与固定柱之间齿轮传动的环节，增加了清洁刷体旋转时的平稳度。还公开了一种晶圆清洁系统，其清洁模组中的液体循环器与驱动装置分别设置在固定柱的两端，达到了电液分离的效果，提高了安全性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212676222 U (45)授权公告日 2021.03.09 (21)申请号 202021286893.8 (22)申请日 2020.07.03 (73)专利权人长江存储科技有限责任公司