一种高分辨波前检测装置.pdfVIP

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2023-02-20 发布于四川
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一种高分辨波前检测装置.pdf

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本实用新型公开了一种高分辨波前检测装置，包括缩束器、分光镜以及数据处理系统；所述分光镜沿所述缩束器出射光方向设置；所述分光镜分出的子光束方向设有波前传感器，且波前传感器的输入端沿子光束出射方向设置；所述波前传感器输出端与所述数据处理系统输入端连接。本实用新型的有益效果为其结构简单、运算速度快、抗振能力强、对测量光束线宽、相干性和偏振态无特殊要求、无需参考光、可实时记录波前变化过程、同时适用于连续光和脉冲光测量；突破了现有单台哈特曼波前传感器空间分辨率限制，实现了更高的空间分辨率测量，并且在提高空

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212693088 U (45)授权公告日 2021.03.12 (21)申请号 202021289023.6 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2020