一种微波屏蔽管磁场增强平板PECVD设备.pdfVIP

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2023-02-20 发布于四川
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一种微波屏蔽管磁场增强平板PECVD设备.pdf

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本实用新型涉及等离子体生产领域，尤其涉及一种微波屏蔽管磁场增强平板PECVD设备，包括壳体、沿送料方向设置在壳体内部的至少两个等离子体发生装置，等离子体发生装置下方设置有基片台，等离子体发生装置内部设置有同轴圆波导，等离子体发生装置顶部设置有上进气管，等离子体发生装置底部两侧设置有下进气管；壳体底部连通有真空机组；同轴圆波导包括同轴设置的石英玻璃管、铜天线、微波屏蔽管，石英玻璃管在铜天线外侧，微波屏蔽管设置在石英玻璃管、铜天线之间，微波屏蔽管侧壁上下两端设有开口。本实用新型提供一种改善微波等离子

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212688178 U (45)授权公告日 2021.03.12 (21)申请号 202021456885.3 (22)申请日 2020.07.22 (73)专利权人中南大学地址 4