一种光刻机Mark点的CCD调焦装置.pdfVIP

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2023-02-20 发布于四川
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一种光刻机Mark点的CCD调焦装置.pdf

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本实用新型公开了一种光刻机Mark点的CCD调焦装置，包括连接板，连接板上螺纹孔，螺纹孔上螺纹安装有螺套，螺套上螺纹连接有螺杆，螺杆上螺纹连接有用于与CCD相机连接的调节套；螺套、螺杆和调节套的内部在轴向上相互连通。通过螺套在连接板上的旋转，不仅可以微调CCD相机的焦距，而且实现了CCD相机拍摄位置的旋转式调节，以便与拍摄的Mark点上下对应；通过调节套与螺杆的螺纹连接，便于调节套的轴向滑移，从而达到大范围调节的焦距目的。实现了CCD相机焦距的微调和大范围调节的目的，不同焦距的CCD相机均可在该

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212694246 U (45)授权公告日 2021.03.12 (21)申请号 202021705398.6 (22)申请日 2020.08.14 (73)专利权人山东华楷微电子装备有限公司