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2023-02-21 发布于四川
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本申请涉及一种设备控制系统，属于机械设备技术领域，所述系统包括：PVD腔、流量控制阀、流量检测计、电压检测组件、可编程逻辑控制器PLC控制器；流量控制阀和流量检测计与PVD腔连通，所述流量控制阀用于向控制所述PVD腔内进气的流量，流量检测计用于检测PVD腔的进气流量；电压检测组件用于检测PVD腔中的靶材的溅射电压；流量控制阀、流量检测计和电压检测组件与PLC控制器电性连接；解决了现有技术中制备的氧化钒薄膜的电阻均匀性不好，重复性和稳定性不好，而且无法实现所需要电阻的精确调节的问题；达到了可以提高

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212741520 U (45)授权公告日 2021.03.19 (21)申请号 202021138308.X (22)申请日 2020.06.18 (73)专利权人上