一种OVD法沉积松散体的烧结保护装置.pdfVIP

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2023-02-21 发布于四川
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一种OVD法沉积松散体的烧结保护装置.pdf

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本实用新型公开了一种OVD法沉积松散体的烧结保护装置，包括烧结炉芯管、沉积靶棒和保护托盘；所述沉积靶棒上沉积有松散体；沉积有松散体的沉积靶棒安装于所述烧结炉芯管中；所述沉积靶棒的尾端设有安装孔，该安装孔上横向穿设有一陶瓷销子；所述保护托盘为敞口结构，其具有盘底和设置于盘底的边部上的敞口盘罩；所述保护托盘的盘底的中部具有中心孔，保护托盘利用其中心孔套装于沉积靶棒上，且保护托盘支撑于所述陶瓷销子上；所述保护托盘的敞口盘罩的直径大于松散体的直径。本实用新型可以避免出现砸伤炉芯管的现象，可以有效的保护炉

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212713263 U (45)授权公告日 2021.03.16 (21)申请号 202022333321.7 (22)申请日 2020.10.19 (73)专利权人江苏亨通光导新材料有限公司