- 1、本文档共5页,其中可免费阅读3页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型公开了一种反应室八寸石墨盘防飞脱的装置,包括所述晶圆上设置有凹槽,所述晶圆的内部设置有三个圆盘,所述凹槽设有角度10度的缩口,所述晶圆的底部设置有圆弧。本实用新型当在高温生长阶段,晶圆不会产生乔曲,此时搭配上整体行星式运转转速很高,可以减少晶圆产生飞脱。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212713749 U
(45)授权公告日 2021.03.16
(21)申请号 202021621863.8
(22)申请日 2020.08.06
(73)专利权人 陕西宇腾电子科技有限公司
您可能关注的文档
- 一种节能变频热交换装置.pdf
- 一种钢材传输装置.pdf
- 座椅底板与支撑柱连接的微弹性垫盘.pdf
- 自动线浇铸机移动装置.pdf
- 一种用于食品中农药残留的检测仪器.pdf
- 一种便于钻孔的钢材.pdf
- 一种高效光纤耦合器.pdf
- 一种猪饲养装置.pdf
- 一种离芯旋风桶.pdf
- 一种散热性能好的电表箱.pdf
- 2025年长江艺术工程职业学院单招职业技能测试题库附参考答案(黄金题型).docx
- 2025年平凉职业技术学院单招职业技能测试题库附答案(预热题).docx
- 2025年石家庄财经职业学院单招职业技能测试题库带答案(满分必刷).docx
- 2025年黔南民族幼儿师范高等专科学校单招职业技能测试题库(考点梳理).docx
- 2025年天津医学高等专科学校单招职业技能测试题库(原创题).docx
- 2025年长江职业学院单招职业技能测试题库附答案(研优卷).docx
- 2025年吉林电子信息职业技术学院单招职业技能测试题库含答案.docx
- 2025年滁州职业技术学院单招职业技能测试题库附参考答案(典型题).docx
- 2025年苏州工业园区职业技术学院单招职业技能测试题库一套.docx
- 2025年海南职业技术学院单招职业技能测试题库带答案(必威体育精装版).docx
最近下载
- GB50359-2016 煤炭洗选工程设计规范.docx
- GB50391-2014:油田注水工程设计规范.pdf VIP
- 必威体育精装版2024医疗器械经营质量管理规范试题与答案 .pdf VIP
- 第六版复习题基础护理学试题及答案.pdf VIP
- 2019年康乐县村民知情大会让群众真知情知真情.docx VIP
- 2025新教材人教版一年级数学下册《 100以内的口算加、减法》PPT课件.pptx VIP
- 人美版小学美术四年级下册全册教学设计.pdf VIP
- 五年级上册美术说课稿第2课《家乡的古建筑》(湘美版秋).docx VIP
- 风电工程施工组织总设计.doc VIP
- (浙江)现场流行病学调查职业技能竞赛备考试题库资料(含答案).pdf
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
文档评论(0)