一种基板上下料装置及电沉积设备.pdfVIP

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2023-02-21 发布于四川
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一种基板上下料装置及电沉积设备.pdf

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本公开提供一种基板上下料装置及电沉积设备，该基板上下料装置用于在基板载具上装卸待处理基板，待处理基板包括待工艺处理面及背面，待处理基板承载于基板载具时，背面面向基板载具的承载面固定；基板上下料装置包括：基板承载部，包括面向基板载具的承载面设置的基板承载面，基板承载面上设有非接触式吸附部件，用于吸附待处理基板的待工艺处理面，以固定待处理基板；支架，基板承载部设置在支架上，并在支架上沿第一方向往复运动，以靠近或远离基板载具，第一方向垂直于基板承载面。本公开提供的基板上下料装置及电沉积设备能够实现在基

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212711672 U (45)授权公告日 2021.03.16 (21)申请号 202021649851.6 (22)申请日 2020.08.10 (73)专利权人京东方科技集团股份有限公司