一种换热装置及单晶炉.pdfVIP

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2023-02-21 发布于四川
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一种换热装置及单晶炉.pdf

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本实用新型提供了一种换热装置及单晶炉，涉及单晶硅制造技术领域。其中，所述换热装置包括：内筒、外筒以及至少一个容纳管；所述内筒套设于所述外筒内，所述内筒与所述外筒共同形成收容空间；至少一个所述容纳管设置在所述收容空间中，并与所述内筒及所述外筒之间存在间隙，所述容纳管内填充导热介质；冷却介质在所述间隙中流动。本实用新型实施例的换热装置可以有效提升直拉单晶硅棒的换热效率，可以提升晶体的生长速度，从而可以有效降低单晶硅棒的生产成本。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212741575 U (45)授权公告日 2021.03.19 (21)申请号 202020747357.7 (22)申请日 2020.05.08 (73)专利权人银川隆基硅材料有限公司