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本实用新型公开了一种应用于半导体低温泵隔热装置,包括装置本体,装置本体包括隔热罩、进口管和隔热、隔冷垫层,进口管安装在隔热罩前端底部,隔热罩底部呈弧度状结构,隔热罩内部和顶部均为中空式结构,隔热、隔冷垫层安装在隔热罩内侧;隔热、隔冷垫层包括第一保温垫层、第二保温垫层和不锈钢板,第一保温垫层安装在第二保温垫层外侧,第二保温垫层安装在不锈钢板外侧,不锈钢板底部为弧度状结构,第一保温垫层和第二保温垫层内部均为中空式结构,第一保温垫层内填充有隔热陶瓷板,第二保温垫层内填充有隔热棉。该种装置可以十分便捷对
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218509664 U
(45)授权公告日 2023.02.21
(21)申请号 202222655605.7
(22)申请日 2022.10.10
(73)专利权人 上海优尊真空设备
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