6或8寸晶圆兼容传输装置.pdfVIP

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2023-02-23 发布于四川
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6或8寸晶圆兼容传输装置.pdf

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本实用新型公开了6或8寸晶圆兼容传输装置，包括旋转支架，所述旋转支架的上端面固定连接有支撑杆，所述支撑杆上贯穿设有伸缩管，所述伸缩管的末端固定连接有移动管，所述支撑杆的下端面固定连接有多个均匀设置伸缩杆，所述伸缩杆的末端固定连接有传输抓盘。本实用新型结构合理，通过设置传输抓盘、移动槽与兼容抓取板实现对多种尺寸的晶圆的兼容抓取过程，提升晶圆的生产加工效率，同时避免繁琐的更换步骤，节约资源的同事提升装置的利用效率，通过设置动力机构以及吸附机构实现晶圆运转过程中的动力提供以及辅助晶圆抓取的过程，保证晶

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212810257 U (45)授权公告日 2021.03.26 (21)申请号 202021540202.2 (22)申请日 2020.07.30 (73)专利权人上海图双精密装备有限公司