一种公转机构及蒸发台.pdfVIP

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2023-02-23 发布于四川
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一种公转机构及蒸发台.pdf

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本实用新型公开了一种用于蒸发台的公转机构，包括衬底载体，所述衬底载体顶部设有连接端，所述连接端为镂空结构；第二传动件，所述第二传动件与所述衬底载体连接，所述第二传动件驱动所述衬底载体转动；第一传动件，所述第一传动件设置于所述第二传动件一侧水平方向，所述第一传动件与所述第二传动件配合连接；所述第一传动件驱动所述第二传动件转动；驱动件，所述驱动件与所述第一传动件连接，所述驱动件给所述第一传动件提供动力。本实用新型的公转机构使用侧部驱动取代轴心驱动的方式，规避了中间位置支撑条遮挡传感器的问题，使得测定

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212800518 U (45)授权公告日 2021.03.26 (21)申请号 202021594173.8 (22)申请日 2020.08.04 (73)专利权人爱发科真空技术（苏州）有限公司