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本实用新型公开了一种光刻胶剥离废液回收系统，包括相连接的蒸馏釜和蒸馏塔，蒸馏塔上设置有侧线汽相采出口和塔顶采出口，侧线汽相采出口与第一冷凝器连通，第一冷凝器的馏出液出口与成品罐连通；塔顶采出口通过第二冷凝器分别与含水馏分罐和和中间馏分罐连通；蒸馏塔与真空机组连通。该剥离废液组分回收系统采用单塔运行，蒸馏塔与真空机组连通，通过真空机组调节蒸馏塔的真空度，利于光刻胶剥离液中含水馏分、中间馏分、成品和塔釜重组分的分离。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212800203 U
(45)授权公告日 2021.03.26
(21)申请号 202021616346.1 C07C 31/20 (2006.01)
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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