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本实用新型揭示了一种晶圆表面检验机震动侦测系统,该系统包括真空管道、真空传感器、吸取晶圆平台、第一光电传感器和第二光电传感器、控制装置、驱动装置、第一铁片和第二铁片,真空管道的一侧与吸取晶圆平台直通,另一侧与真空传感器连接,真空传感器与控制装置电性连接,第一光电传感器和第一铁片设置在X轴上,第二光电传感器和第二铁片设置在Y轴上,控制装置分别与第一光电传感器、第二光电传感器电性连接,吸取晶圆平台的下方设置有驱动装置,并通过驱动装置带动吸取晶圆平台转动,驱动装置分别与第一铁片和第二铁片电性连接。该系
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212843956 U
(45)授权公告日 2021.03.30
(21)申请号 202021066637.8
(22)申请日 2020.06.11
(73)专利权人 矽品科技(苏州)有限公司
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