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本实用新型公开一种用于芯片焊接的真空封装炉腔的直线进给装置,包括支架、滑动安装座、驱动心轴、动密封装置和驱动机构,所述支架具有连接真空封装炉腔的第一连接板,所述第一连接板具有通过口;所述滑动安装座可滑动地连接在所述支架上;所述驱动心轴一端和所述滑动安装座连接,另一端向所述第一连接板一侧延伸;所述动密封装置密封连接在所述连接部和所述滑动安装座之间;所述驱动机构和所述滑动安装座驱动连接,以带动所述驱动心轴伸出所述通过口或由所述通过口缩回。通过外部直线运动带动真空腔体内部器件进行直线进给运动,结构简单
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212806564 U
(45)授权公告日 2021.03.26
(21)申请号 202120399422.6
(22)申请日 2021.02.24
(73)专利权人 北京中科同志科技股份有限公司
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