硅片运输装置.pdfVIP

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2023-02-23 发布于四川
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硅片运输装置.pdf

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本实用新型涉及一种硅片运输装置，包括机械手臂，所述机械手臂包括取放部和驱动部，所述驱动部驱动所述取放部移动以从片盒中取出硅片，并放置于下一工位，还包括设置于所述取放部上的检测部，用于检测待取硅片的位置信息并统计待取硅片的数量，所述位置信息包括在垂直于待取硅片表面的方向上，待取硅片所在的位置。通过检测部的检测可以检测硅片是否满载，使得取放部直接移动至待取硅片的位置进行取放动作即可，节省时间，并且可以自动对片盒内的硅片数量进行统计，提高效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212810260 U (45)授权公告日 2021.03.26 (21)申请号 202120415829.3 (22)申请日 2021.02.25 (73)专利权人西安奕斯伟硅片技术有限公司