双缓冲型光阻液喷涂系统.pdfVIP

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2023-02-23 发布于四川
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双缓冲型光阻液喷涂系统.pdf

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一种双缓冲型光阻液喷涂系统，其特征在于，包括：第一储液罐，第一过滤器；第一缓冲器；所述第一过滤器设置于所述第一储液罐与所述第一缓冲器之间；所述第一缓冲器连接有第一回抽管；所述第一回抽管安装有第一回抽泵；第二储液罐；第二过滤器；第二缓冲器；所述第二过滤器设置于所述第二储液罐与所述第二缓冲器之间；所述第二缓冲器连接有第二回抽管；所述第二回抽管安装有第二回抽泵；还包括以下两种结构的其中一种：第一种结构，包括选择机构和总光阻液泵；第二种结构，包括选择机构、第一光阻液泵和第二光阻液泵。所述双缓冲型光阻液喷

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212820700 U (45)授权公告日 2021.03.30 (21)申请号 202020487577.0 (22)申请日 2020.04.07 (73)专利权人芯