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本实用新型公开了一种用于钙钛矿太阳电池制备的旋涂装置,包括装置主体,所述装置主体内底部螺栓连接有第一旋转电机,装置主体顶部外侧安装有混胶箱,所述第一旋转电机的输出端固定连接有载物台,所述载物台上放置有晶片,所述载物台的正上方设置有支撑板,所述支撑板下端中部安装有滴胶管,支撑板下端左右两侧安装有热光灯,所述滴胶管依次通过连接软管和出胶管和混胶箱内部相连通,本实用新型将光刻胶制备、涂覆和烘干三道工序结合为一体,一方面提高了工作效率,另一方面节约了投资成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212810344 U
(45)授权公告日 2021.03.26
(21)申请号 202021750369.1
(22)申请日 2020.08.20
(73)专利权人 南昌大学
地址 3
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