一种TEM平面样品的定位裂片装置.pdfVIP

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2023-02-23 发布于四川
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一种TEM平面样品的定位裂片装置.pdf

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本实用新型涉及光电材料的裂片技术领域，且公开了一种TEM平面样品的定位裂片装置，包括定位裂片装置本体，所述定位裂片装置本体包括工作台和操作设备，所述工作台包括固定块、Z轴杆、受力条和底座，所述操作设备包括滑动块、Y轴杆、裂片刀和调节刀片设备，所述裂片装置本体顶部设有待裂片材质，所述待裂片材质包括待裂片位置和标记，所述工作台位于裂片装置本体底部。该TEM平面样品的定位裂片装置，通过裂片装置本体顶部安装有工作台，利用受力条的顶部平整作用，可以使得待裂片材质达到快速定位的有益效果，通过工作台和操作设备

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212808343 U (45)授权公告日 2021.03.26 (21)申请号 202021817681.8 (22)申请日 2020.08.27 (73)专利权人上海芯愿集成电路技术有限公司