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本申请提供了硅烷进气装置及多晶硅沉积炉,其中,硅烷进气装置设置于多晶硅沉积炉内,所述进气装置包括至少一根进气管,所述进气管包括封闭端与接口端,所述封闭端位于所述沉积炉内,所述接口端与硅烷进气口相连通,所述进气管沿所述进气管的延伸方向设有多个均匀间隔设置的排气孔。本申请提供的硅烷进气装置及多晶硅沉积炉,能够实现硅烷的均匀分布,避免进气管堵塞。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212800530 U
(45)授权公告日 2021.03.26
(21)申请号 202021751638.6
(22)申请日 2020.08.20
(73)专利权人 浙江晶科能源有限公司
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