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本实用新型涉及研磨设备技术领域,公开一种研磨装置及研磨机。其中研磨装置包括研磨本体和研磨盘,其中研磨本体包括连接轴和与连接轴连接的连接盘,连接轴与输出轴连接;研磨盘与连接轴连接,研磨盘与连接盘平行间隔设置,研磨盘能沿与连接盘呈夹角的方向摆动。本实用新型通过将研磨盘设置为能沿与连接盘成夹角的方向摆动,使在研磨过程中研磨盘能根据待研磨平面和与待研磨平面是否有异物而选择性摆动,既能补偿了研磨盘因为直径大而水平存在的差异,又能有效避免异物对待研磨表面的损伤,减小了研磨盘的异常磨损,提高了研磨装置的使用寿
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212824694 U
(45)授权公告日 2021.03.30
(21)申请号 202021647466.8
(22)申请日 2020.08.10
(73)专利权人 昆山龙腾光电股份有限公司
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