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一种具有高吸附性的晶片加热用吸附式治具,包含包括形成有容置槽的座顶面与座底面的底座、设置于所述底座并包括盖顶面与盖底面的顶盖,及设置于所述底座与所述顶盖之间的弹性垫。所述座顶面具有形成有数个延伸至所述座底面并与所述容置槽连通的第一穿孔的槽底面部。所述顶盖形成有数个第二穿孔。所述弹性垫包括位于所述容置槽内的垫部,及数个设置于所述垫部的吸附部,所述垫部具有垫顶面及垫底面,所述吸附部从所述垫顶面朝上延伸并分别穿出所述第二穿孔,每一吸附部具有高于所述盖顶面的吸附顶端,所述弹性垫形成有数个从所述吸附部的吸
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212848345 U
(45)授权公告日 2021.03.30
(21)申请号 202021675701.2
(22)申请日 2020.08.12
(73)专利权人 宸榤精机股份有限公司
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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