一种晶圆激光切割精密支撑结构.pdfVIP

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2023-02-24 发布于四川
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一种晶圆激光切割精密支撑结构.pdf

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本实用新型公开了一种晶圆激光切割精密支撑结构，包括支撑腿，所述支撑腿的后侧固定有安装板，且安装板的后侧设置有框体，所述框体的两侧设置有侧板，且侧板的右侧安装有电机，所述电机的左侧连接有主动轮，且主动轮的左侧连接有传动杆，所述传动杆的上方设置有横梁，且横梁的中部安装有滑件，所述滑件的上方安装有水平仪，所述主动轮的前后两侧设置有辅助轮，且辅助轮的下侧设置有侧滑槽。该晶圆激光切割精密支撑结构，结构设置合理，在滑件顶部安装的水平仪，方便观察整个设备的水平度，且增加了螺栓与安装板内部螺纹孔的调节装置，使得

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212823483 U (45)授权公告日 2021.03.30 (21)申请号 202021811646.5 (22)申请日 2020.08.26 (73)专利权人河南通用智能装备有限公司