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本实用新型涉及一种集成电路测压用浮动装置。集成电路测压用浮动装置包括:第一致动机构,其具有可伸缩的第一致动件;浮动机构,其具有第一连接板和与第一连接板相连接的第二连接板,第一连接板与第一致动件相连接;第二致动机构,其连接至浮动机构的第二连接件并具有可伸缩的第二致动件;和下压机构,其包括第一压头和第二压头;其中,所述第一致动件驱动连接所述浮动机构、所述第二致动机构和所述下压机构本实用新型的集成电路测压用浮动装置适用于IC有不同高低差面的场景。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212845773 U
(45)授权公告日 2021.03.30
(21)申请号 202021562083.0
(22)申请日 2020.07.31
(73)专利权人 杭州长川科技股份有限公司
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