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本实用新型提供一种多级行星旋转镀膜机构，包括第一级固定齿轮、行星转盘、第一级行星齿轮单元、第一级行星旋转传动装置、第一级行星旋转工作盘、第二级固定齿轮、第二级行星齿轮单元和第二级行星旋转工作盘，所述第二级固定齿轮与所述行星转盘固定连接，多个所述第二级行星齿轮单元固定于所述第一级行星旋转工作盘上且分布为均可与所述第二级固定齿轮啮合，所述第二级行星齿轮单元与所述第二级行星旋转工作盘可一体转动地连接。通过本实用新型，增加了被镀膜工件表面各点的运动轨迹维度，使得被镀膜工件表面各点在真空室内的运动所覆盖范
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212894954 U
(45)授权公告日 2021.04.06
(21)申请号 202021215721.1
(22)申请日 2020.06.28
(73)专利权人 布勒莱宝光学设备（北京）有限公
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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