用于晶圆清洗烘干的充气式主轴密封装置.pdfVIP

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2023-02-25 发布于四川
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用于晶圆清洗烘干的充气式主轴密封装置.pdf

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本实用新型公开了用于晶圆清洗烘干的充气式主轴密封装置，属于密封技术领域，包括盖板，所述盖板的底端镶嵌连接有底板，所述底板的下方插接有气垫，所述气垫的两侧固定安装有侧腔，所述侧腔的内部固定安装有弹簧A，所述弹簧A的一端间隙连接在磁铁A的一端，所述气垫的底端插接在乳胶垫的内部，所述盖板的内部固定安装有支承座，所述支承座包括底座A底座B，所述底座A的一端过盈连接有支座A，所述支座A的下方镶嵌连接有弹簧B，所述弹簧B的下方固定安装有支座B，所述支座B的下方固定安装有底座B。本实用新型通过安装的支承座，能

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212899733 U (45)授权公告日 2021.04.06 (21)申请号 202020527700.7 (22)申请日 2020.04.13 (73)专利权人嘉兴晶装电子科技股份有限公司