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本实用新型提供了一种离子注入机的基板传输结构，属于基板技术领域。该离子注入机的基板传输结构包括基板传输装置本体、基板固定组件和基板本体。所述基板固定组件包括支撑板、两个固定杆件、安装板、第一夹紧件、第二夹紧件和两个碰珠件，所述第一夹紧件包括第一固定板、第二固定板、压板、滑杆和压紧螺杆。通过第一夹紧件和第二夹紧件固定基板本体，当基板本体侧壁受外力时，形成简支梁的受力形式，减少单个连接处的受力，同时减少连接处的扭矩，进而有效的改善当基板侧壁受外力碰撞时，现有的基板输送装置上基板和基板固定结构连接处受
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212874426 U
(45)授权公告日 2021.04.02
(21)申请号 202022191726.1
(22)申请日 2020.09.29
(73)专利权人 锐捷芯盛（天津）电子科技有限公
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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