一种电源盒及薄膜沉积系统.pdfVIP

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2023-02-26 发布于四川
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一种电源盒及薄膜沉积系统.pdf

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本实用新型公开了一种电源盒及薄膜沉积系统。所述电源盒包括多个第一加热电源、多个第一温控表和切换部件；其中，切换部件包括多个第一接口、多个第二接口和多个第三接口，第一接口与第一加热电源一一对应连接，第二接口与第一温控表一一对应连接，第三接口与外部信号产生部件连接；第二接口和第三接口均与第一接口一一对应；切换部件用于在第一状态下连通各第二接口与对应第一接口，断开各第三接口与对应第一接口，在第二状态下连通至少一个第三接口与对应第一接口，断开各第三接口与对应第一接口。本实用新型实施例提供的技术方案，使得

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212925149 U (45)授权公告日 2021.04.09 (21)申请号 202021714374.7 (22)申请日 2020.08.17 (73)专利权人江苏集萃有机光电技术研究所有