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本实用新型涉及一种栅控间接飞行时间器件和主动光电探测组件、光电系统。栅控间接飞行时间器件包括:衬底;设置于衬底一侧的由化合物半导体材料构成的光吸收层;设置于光吸收层上的两个用于输出光电流信号的探测电极;设置于光吸收层上的栅极氧化层;设置于栅极氧化层上的两个用于输入调制电压信号的栅电极;设置于衬底的另一侧或光吸收层中并位于栅极氧化层下的衬底电极。主动光电探测组件包括前述栅控间接飞行时间器件及信号输出电路、读出电路和光源。光电系统包括光收发机构、驱动电路、处理单元、计算单元和光学组件,其中光收发机构
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212932955 U
(45)授权公告日 2021.04.09
(21)申请号 202021532012.6
(22)申请日 2020.07.29
(73)专利权人 苏
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