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本实用新型提供一种CMOS图像传感器,所述CMOS图像传感器包括:若干像素单元、位于所述像素单元上部的微透镜结构;所述微透镜结构包括:由多层透光铺设层堆叠的微透镜核,以及包覆所述微透镜核的微透镜外层,其中,多层透光铺设层具有不完全相同的折射率。本实用新型通过以透光铺设层作为硬掩模,形成多层透光铺设层构成的微透镜核,能够提高光刻和刻蚀工艺稳定性,并且所形成的图像传感器光敏感性和相对照度更好,像素之间的串扰更小。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212967704 U
(45)授权公告日 2021.04.13
(21)申请号 202020786287.6
(22)申请日 2020.05.13
(73)专利权人 格科微电子(上海)有限公司
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