一种用于光芯片波导微小缺陷的检测系统.pdfVIP

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2023-02-26 发布于四川
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一种用于光芯片波导微小缺陷的检测系统.pdf

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本实用新型提供了一种用于光芯片波导微小缺陷的检测系统，包括工业相机、第一光学成像装置、第二光学成像装置、第一光源、第二光源、多维调节台和工控电脑，光芯片放置于多维调节台的上端，工业相机与工控电脑连接，工业相机、第一光学成像装置、第一光源、第二光学成像装置自上而下依次连接，第二光源与第二光学成像装置的侧面连接，第一光源为环形光源，第二光源为平行同轴光源；本实用新型与现有技术相比，结构简单，不用调节检测系统与线路板的距离，使用时只要调节调节台的高低即可成像，方便可靠，能清晰观察到光芯片微小缺陷的情况

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212932438 U (45)授权公告日 2021.04.09 (21)申请号 202021378291.5 (22)申请日 2020.07.14 (73)专利权人上海申赋实业有限公司