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本实用新型涉及一种暂态基板和巨量转移系统,暂态基板包括基板本体和多个金属块,基板本体开设有多个凹槽,多个凹槽间隔设置,且每相邻的两个凹槽形成一组,每组凹槽用于与每个芯片的两个电极一一对应;多个金属块一一对应的容置在多个凹槽内,多个金属块用于带电荷,以与带异种电荷,并具有间隔距离的芯片相互吸引。通过设置凹槽,并在凹槽内容置金属块,金属块与芯片用于带异种电荷,利用异种电荷的吸引力作用,使得芯片与暂态基板保持贴合,再配合剥离衬底的工艺,实现从衬底上将芯片转移至暂态基板上,结构和工艺简单,不需要使用胶材
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212934584 U
(45)授权公告日 2021.04.09
(21)申请号 202022175360.9
(22)申请日 2020.09.28
(73)专利权人 重庆康佳光电技术研究院有限公
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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